来源: 最后更新:23-02-24 10:28:25
1、半导体压阻传感器:
此种传感器所利用的是半导体的压阻效应。普通的半导体材料应变要优于金属材料的应变灵敏系数。利用单晶硅的压阻效应在单晶硅的基础上利用半导体工艺制成的元件,当半导体受到压力作用的时候,其电阻会发生变化,从而形成压力变化的信号输出。
2、传统弹性应变传感器:
此种传感器的特点是测量范围宽、精度高、稳定性好,且使用寿命长能够抵御高温、高速、高压和振动的影响,因此在汽车的检测环境中较为适应。
3、厚膜压力传感器:
此种传感器是新型的力敏性传感器。其利用的是厚膜电阻的压阻效应所研制而成的,其应变电阻是具有压阻效应的厚膜钌酸盐电阻,采用厚膜工艺技术直接印刷和烧结在陶瓷弹性体上。
4、陶瓷压阻传感器:
此种传感器采用的是陶瓷材料经过特殊工艺制成的,干式陶瓷压力传感器。陶瓷是一种具有较高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗震动的优质材料。
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